Название: Физические основы микроэлектроники
Автор: В.И.Марголин
Страниц: 402
Формат: DJVU
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2008
Содержание:
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и
фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы
основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение
тонкопленочных структур, создание и перенос литографического
изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур,
основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений
Скачать Зеркало
|
